中微公司獲得一種托盤搬運裝置及氣相沉積系統(tǒng)的專利，有效防止顆粒污染并節(jié)省搬運時間\n金融界2024年6月7日報道，天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示，中微半導體設備（上海）股份有限公司獲得一項名為“一種托盤搬運裝置及氣相沉積系統(tǒng)”的專利，授權(quán)公告號為CN221092739U，申請日期為2023年11月。
時間：2024-07-04 01:50:11 作者：6kYzQ!yIEmp_M6UkZ 點擊：
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根據(jù)專利摘要，本實用新型公開了一種托盤搬運裝置及氣相沉積系統(tǒng)。該托盤搬運裝置適用于移動半導體設備中載有基片的圓形托盤，包括以下組件：滑軌，其長度大于托盤徑向長度；至少兩個夾持機構(gòu)，在滑軌上設置，每個夾持機構(gòu)包括固定連接的夾持部和移動部；移動部可沿滑軌進行往復移動，以便夾持或脫離托盤；止動裝置，設置于移動部上，以將夾持機構(gòu)鎖定在滑軌上；提吊機構(gòu)，設置于滑軌上，以提起并搬運被夾持的托盤。該實用新型可避免搬運托盤時直接接觸其表面，有效防止晶圓上的顆粒污染。此外，在托盤溫度較高時，仍可完成搬運工作，節(jié)省了更換托盤和搬運時間。
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